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本申请实施例公开了一种光纤侧面均匀镀膜掩膜装置及其镀膜方法,包括:机架;左侧板与右侧板之间设置有滑动轴;滑动轴上滑动连接有滑动平台;左侧板上固定有第一驱动电机;滑动平台上固定有第二驱动电机;第一驱动电机和第二驱动电机分别驱动连接有一个用于固定光纤的夹持组件;夹持组件上设置有导向管;第一驱动电机与第二驱动电机之间间隔设置有第一掩膜块和第二掩膜块;第一掩膜块和第二掩膜块上均设置有掩膜穿孔。本发明结构简单、体积小,可以对光纤圆柱侧面均匀地镀单层或多层膜以及不同分层结构的膜层,并且具有单独封闭结构,即使
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112853291 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110008039.8 (22)申请日 2021.01.05 (71)申请人 广东工业大学 地址
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