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日程安排 ▪ COMSOL低温等离子体建模简介 ▪ 感应耦合等离子体 ▪ 直流放电案例操作 ▪ 微波放电等离子体 ▪ 等离子体全局模型 ▪ 等离子体相关多物理场耦合 ▪ 容性耦合等离子体 ▪ 等离子体模型调试技巧 ▪ 5.5版本等离子体模块新功能介绍 COMSOL 2019 ▪ 多物理场仿真建模工具 丰富的预置多理场建模接口 灵活的通用数学接口 自带CAD 建模工具 专业的附加模块 与第三方软件同步链接 • 主流CAD 工具 • MATLAB® • Excel® ▪ 开发工具 模型开发器 物理场开发器 App 开发器 ▪ 仿真App 部署工具 COMSOL Compiler™ COMSOL Server™ COMSOL Multiphysics® 多物理场仿真平台 开发、管理和部署仿真App ▪ 开发便捷 App 开发器：图形化App 集成开发环境 ▪ 灵活部署 COMSOL Compiler™ ：编译创建可独立 运行的仿真App COMSOL Server™ ：统一分发、部署和 管理仿真App 什么是等离子体？ ▪ 定义 常被称为物质的“第4态” 等离子体灯泡 等离子体是由带电粒子组成的导体， 表现出中性和场的集体效应 ▪ 工业应用 照明 半导体工艺腔体 半导体工艺 军事 活性气体生成/消灭 …… 等离子体炬 等离子体组成 ▪ 等离子体包含： 电磁场（瞬时） 电子能（小于纳秒） 电子传递（纳秒） 离子传递（微秒） 激励物质传递（0.1毫秒） 中性气体流动和温度（毫秒） ▪ 各种不同组成的特征时间尺度跨度广泛，加大了等离子体建模的难度 ▪ 等离子体模型的计算很花时间！ 等离子体建模难点 ▪ 空间难度大 ▪ 网格需要解析德拜长度 ▪ 自由度很大（很多粒子） ▪ 需要考虑大量粒子，特别是对于分子气体放电 ▪ 电子能和电磁场之间具有很强的耦合关系 ▪ 不太容易找到等离子体化学数据 ▪ COMSOL Multiphysics 等离子体模块使建模变得容易，不过仍然需要一些专 业知识 非平衡放电 ▪ 必须是: 碰撞引起的(在电子到达壁之前必须和 背景气体发生多次碰撞) kT 数值不稳定 一般来说，平均自由程 = 必须远 小于放电腔体的特征尺寸 p )
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