一种CVD沉积石墨烯的规模化制备设备.pdfVIP

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2023-06-05 发布于四川
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一种CVD沉积石墨烯的规模化制备设备.pdf

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本发明涉及石墨烯制取设备技术领域，尤其是涉及一种CVD沉积石墨烯的规模化制备设备。制备设备包括制备腔室、反应室、冷却室、液体气密池和传送带组件；将反应室、冷却室设置在密闭的制备腔室内，并且通过液体气密池对主腔室内的空间进行密封，确保主腔室内具有良好的密闭性，避免了在石墨烯生产过程中进入空气发生设备爆炸的事故；传送带组件能够带动基底依次通过反应室和冷却室，能够实现基底相对于反应室的连续性输出，进而实现了石墨烯生产的连续性，完整性，实现了石墨烯的规模化生产。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112723347 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202110121682.1 (22)申请日 2021.01.28 (71)申请人孙华地址 2014