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本发明公开了一种锂电池硅基薄膜负极片及其制备方法,采用卷对卷磁控溅射技术直接制备硅基薄膜负极片,在溅射硅或氧化亚硅薄膜处于岛状成膜阶段,引入脉冲式快速光热退火,使其快速凝聚成纳米微球,进而引入类石墨碳缓冲层填补纳米球间隙并覆盖的方式,可以有效抑制纳米硅基材料的膨胀,同时增强了极片的导电性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112542573 B (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202011400544.9 H01M 4/131 (2010.01)
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