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本发明涉及载置台装置、光刻装置以及物品制造方法。[课题]提供对微动载置台的定位的高精度化有利的载置台装置。[解决方法]载置台装置具有：粗动载置台；微动载置台；电磁致动器，配置于所述粗动载置台与所述微动载置台之间，在沿着所述粗动载置台的表面的方向上对所述微动载置台提供推力；以及控制部，控制所述电磁致动器，所述控制部根据所述粗动载置台的驱动开始位置，决定所述电磁致动器的控制参数。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112540511 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 202010964290.7 (22)申请日 2020.09.15 (30)优先权数据 2019-1718
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