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2023-06-01 发布于四川
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被加工物的加工方法.pdf

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本发明提供被加工物的加工方法，能够抑制装置的大型化，并且被加工物能够将蚀刻中施加的高热排出。被加工物的加工方法从吸引路向保持面作用负压而利用卡盘工作台对被加工物进行吸引保持，使真空腔室内的气压减压至能够实现低压等离子且能够利用卡盘工作台对被加工物进行吸引保持的50Pa以上且5000Pa以下，一边对被加工物进行吸引保持一边向被加工物提供等离子状态的惰性气体，对配置于卡盘工作台的电极施加电压而利用卡盘工作台对被加工物进行静电吸附，提供等离子状态的加工用气体而对被加工物进行干蚀刻。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112530801 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202010972662.0 (22)申请日 2020.09.16 (30)优先权数据 2019-1705