一种椭圆偏振测量设备及其聚焦方法和测量方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种椭圆偏振测量设备及其聚焦方法和测量方法.pdf

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本发明提供了一种椭圆偏振测量设备及其聚焦方法和测量方法，聚焦方法包括：使探测光的偏振态保持不变，使信号光的偏振态保持不变，通过光源模块向待测物发射探测光，探测光经待测物形成信号光，通过检测模块获取待测物的待测区域与椭圆偏振测量设备处于沿聚焦方向的不同相对位置处的信号光的光信息值，并获得表征信号光的组合光强度最大的光信息值，将该光信息值对应的待测物与椭圆偏振测量设备的相对位置作为待测区域的聚焦位置。也就是说，本发明中利用椭圆偏振测量设备自身的光路和机构实现了自动聚焦，不仅能够实现+/‑0.1μm级

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112540044 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 202010673780.1 (22)申请日 2020.07.14 (71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司