一种适用于多晶硅生产的还原尾气回收系统及工艺.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种适用于多晶硅生产的还原尾气回收系统及工艺.pdf

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本发明公开了一种适用于多晶硅生产的还原尾气回收系统及工艺，属于多晶硅生产的技术领域，由精馏工序供高纯四氯化硅至一级氯硅烷换热器后与氯化氢吸收塔釜釆出的吸收了氯化氢的氯硅烷富液交换热量，在经过二级氯硅烷换热器和经一级氯硅烷换热器换热完成的富液氯硅烷换热，后进入进液氟利昂换热器换热后，进氯化氢吸收塔吸收氢气中的氯化氢气体，以达到降低多晶硅生产过程中尾气回收蒸汽使用投资、降低多晶硅生产过程中尾气回收电耗使用投资以及减少多晶硅生产过程中尾气回收装置换热设备及塔罐设备投入的目的。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112520698 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011422015.9 (22)申请日 2020.12.08 (71)申请人新疆东方希望新能源有限公司