半导体存储器装置.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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半导体存储器装置.pdf

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提供了一种半导体存储器装置。所述半导体存储器装置包括：基底，具有存储器单元区、外围区以及在存储器单元区与外围区之间的坝区，存储器单元区根据俯视图具有矩形形状，并且存储器单元区具有限定在其中的多个有源区；多个位线结构，在存储器单元区中在基底上延伸以在第一水平方向上彼此平行，并且均包括位线；多个掩埋接触件，填充基底上的所述多个位线结构之间的空间的下部；多个接合垫，位于所述多个掩埋接触件上；以及坝结构，包括在坝区中的第一坝结构和第二坝结构，并且与所述多个接合垫位于同一水平处。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112530947 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 20201