一种用于铸造旋转靶材的背管及其制作方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种用于铸造旋转靶材的背管及其制作方法.pdf

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本发明涉及旋转靶材制造技术领域，尤其涉及一种用于铸造旋转靶材的背管。包括不锈钢管，所述不锈钢管外部电镀有镍层，所述镍层的厚度为0.005～0.1毫米，所述镍层的表面粗糙度为Ra3.2～Ra6.3,所述镍层的表面有渗锡层。其生产方法为：先对不锈钢管表面进行清洗，之后进行打磨，再将其表面电镀镍层，然后进行退火，之后用酸性溶液对外表面进行处理，接着用渗锡溶液对外表面进行处理，最后将其清洗干净并晾干，得到用于铸造旋转靶材的背管。用本发明的背管生产的旋转靶材杂质较少，并且对磁场的屏蔽作用较小，溅射效果较好

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112522754 B (45)授权公告日 2022.05.31 (21)申请号 202011376099.7 C23C 14/35 (2006.01) (22)申请日 2020.12