一种氮化铝陶瓷基板用抛光液及其制备方法和抛光方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种氮化铝陶瓷基板用抛光液及其制备方法和抛光方法.pdf

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本发明涉及研磨抛光技术领域，具体而言，涉及一种氮化铝陶瓷基板用抛光液及其制备方法和抛光方法。本发明的氮化铝陶瓷基板用抛光液，主要由以下质量份数的组分组成：氧化铝磨料90～110份、分散剂4～12份和水850～950份；采用pH调节剂调节所述抛光液的pH为3～5。本发明的抛光液可有效的对氮化铝陶瓷基板进行抛光处理，提高抛光速率，显著降低表面粗糙度，易清洗，减少氮化铝陶瓷基板抛光过程中的二次划伤。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112521866 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011483351.4 (22)申请日 2020.12.16 (71)申请人北京国瑞升科技股份有限公司