一种极紫外波段宽带隙高反射率光子晶体薄膜.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种极紫外波段宽带隙高反射率光子晶体薄膜.pdf

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本发明涉及光学薄膜的技术领域，更具体地说，本发明涉及一种极紫外波段宽带隙高反射率光子晶体薄膜；所述光子晶体薄膜可以利用电化学辅助自组装沉积法制备，包括步骤：称取水、乙醇、硅源、表面活性剂、硝酸钠、盐酸进行预水解反应，在导电基底上施加阴极电势进行电化学辅助自组装沉积一定时间，取出电极立即用水冲洗，130℃干燥，再将介孔薄膜在450℃空气中焙烧一定时间，即得到光子晶体薄膜；本发明的光子晶体薄膜介孔孔径在2nm‑4nm范围调节均可在5‑12nm极紫外波段获得高反射率，且制备时间短，制备厚度可在20nm

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112526644 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011444534.5 C30B 7/12 (2006.01) (22)申请日 20