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本发明公开了一种微电子高效散热装置,包括散热板,所述散热板通过硅胶粘连在芯片的发热面上,所述散热板为中空结构,散热板的内腔中设置有循环泵;第一冷却液流通通道,设置在所述内腔的下壁上;第二冷却液流通通道设置在所述内腔的上壁上;第三冷却液流通通道设置在所述第一冷却液流通通道和所述第二冷却液流通通道之间,所述第三冷却液流通通道分别通过一冷却液连通通道与所述第一冷却液流通通道和所述第二冷却液流通通道连通;粉末释放器设置在所述循环泵的内部;第一温度传感器设置在所述循环泵的内部。本发明使用散热板可以有效的减
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112533442 B (45)授权公告日 2022.08.05 (21)申请号 202011304839.6 (56)对比文件 (22)申请日 2020.11.20
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