半导体装置的制造方法以及半导体装置.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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半导体装置的制造方法以及半导体装置.pdf

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实施方式提供能够提高制造成品率的半导体装置的制造方法以及半导体装置。实施方式的半导体装置包括：半导体部；在上述半导体部的背面上设置的第1电极；及在上述半导体部的表面上设置的第2电极。上述半导体装置的制造方法包括：形成将包含成为上述半导体部的区域的晶片的背面覆盖的上述第1电极的工序；沿着成为上述半导体部的区域的外缘，形成将上述第1电极选择性地去除而成的、而且包含位于上述晶片中的部分的第1槽的工序；以及沿着上述晶片的表面中的成为上述半导体部的区域的外缘，形成与上述第1槽相连的第2槽，将上述晶片分割的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112542382 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 20201