低损耗氮化镓射频材料外延结构及制备方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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低损耗氮化镓射频材料外延结构及制备方法.pdf

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本发明涉及半导体技术领域，尤指一种低损耗氮化镓射频材料外延结构及制备方法，在硅衬底依次外延生长有缓冲层、氮化镓沟道层、N型低掺杂氮化镓层、势垒层及氨化物帽层即得到低损耗氮化镓射频材料外延结构。本发明在势垒层下面增加的N型低掺杂氮化镓层，由于N型低掺杂氮化镓层的方阻比二维电子气的方阻低，在正常开态情况下，参与导通的功能很弱，但从关态到开态的过程，此层的电子可以补充二维电子气浓度的降低；其次从缓冲层的回迁到异质界面的电子能快速通过此层，达到快速补充异质结界面二维电子气的作用；故通过增加N型低掺杂氮化

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112531015 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011387036.1 (22)申请日 2020.12.02 (71)申请人北京大学东莞光电研究院