一种单晶硅的加料装置及加料设备.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种单晶硅的加料装置及加料设备.pdf

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本申请涉及一种单晶硅的加料装置及加料设备，其中单晶硅的加料装置包括壳体、转动部件、抽真空装置和至少两个储料部件。储料部件安装于壳体，转动部件能够相对于储料部件转动，当转动部件转动至不同的位置时，位于转动部件的导向通道能够将输料管与不同的储料部件连通，与输料管连通的储料部件能够向炉室内添加物料，未与输料管连通的储料部件可以进行装填和抽真空的操作，通过这样的设计能够使加料以及装填、抽真空的工作同时进行，以提升加料的效率，进入提升单晶硅的加工效率，更加符合实际的使用需求。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112522790 B (45)授权公告日 2022.04.12 (21)申请号 202011384421.0 (51)Int.Cl.