一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机.pdf

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本发明公开了一种可生成图案的磁控溅射卷绕镀膜机，包括磁控溅射卷绕镀膜机本体，所述磁控溅射卷绕镀膜机本体包括真空室、转动安装在真空室后侧内壁和前侧内壁之间的四个导辊、以及绕设在四个导辊上的模板，所述真空室的左下角开设有L形安装孔，真空室的左侧固定连接有L形卡块，真空室的底部固定连接有左侧为开口设置的圆卡套。本发明设计合理，操作简便，便于根据实际需要快速对模板的张紧度进行调整，提高调整效率，且便于人员快速对可拆式张紧度调整装置拆装，快速拆装的方式也方便人员后续将可拆式张紧度调整装置快速转移至其他真空

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112522678 B (45)授权公告日 2022.05.03 (21)申请号 202011383577.7 C23C 14/35 (2006.01)