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本发明公开了一种分子束外延源料冷却方法,包括步骤:分子束外延工艺结束后,坩埚托架带动坩埚缓慢下降移出高温区间,使坩埚中的源料自下而上逐渐凝固,直至坩埚中的源料全部凝固。本发明具有操作简便,可在普通热蒸发源的基础上实现大容量、大束流、高可靠性的源料蒸发与冷却等优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112538654 B (45)授权公告日 2021.08.27 (21)申请号 202011311954.6 (51)Int.Cl.
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