一种倒角机研削台治具的清洗方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种倒角机研削台治具的清洗方法.pdf

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本发明涉及清洗领域。一种倒角机研削台治具的清洗方法，包括如下步骤：步骤一，清洗药液的配置；清洗药液包括100升纯水、5升氢氧化钠以及0.5升TSC‑1清洗剂；步骤二，将药液置入超声波清洗机，药液加热至45℃‑55℃，将研削台治具浸没在药液中超声波清洗25‑30分钟；步骤三，采用45℃‑55℃的纯水超声波清洗；步骤四，风干或用气枪吹干表面残留水迹；步骤五，研削台安装主轴平面擦拭干净；步骤六，安装研削台治具，安装时，确认同心圆的精度以及研削台的芯振面振。本专利可以彻底清洁研削台治具的表面污染，以及长

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112517528 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011154319.1 (22)申请日 2020.10.26 (71)申请人上海中欣晶圆半导体科技有限公司