一种CIGS共蒸法的红外测温装置及其测温控制方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约9.46千字
约 8页
2023-06-01 发布于四川
举报
版权申诉

一种CIGS共蒸法的红外测温装置及其测温控制方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及一种CIGS共蒸法的红外测温装置及其测温控制方法，解决CIGS共蒸法不锈钢卷基底测温需求的问题。本装置真空腔的上部作为沉积基底的不锈钢卷，不锈钢卷的上方设有加热器，不锈钢卷下方设有测温机构，测温机构包括密封的罩体，罩体上表面为高透玻璃板，罩体内设有朝上设置的探头，高透玻璃板上贴设有加热板，罩体与真空腔下壁之间设有走线管，走线管内穿设有连接探头的光纤，走线管上盘设有水冷盘管。本发明可以采用探入式的红外测温探头在近点对真空腔内的不锈钢卷进行测温控制利用加热板对罩体进行加热，避免硒蒸气沉积阻

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112525358 B (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202011603770.7 G01J 5/08 (2006.01)