加料装置及单晶炉.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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加料装置及单晶炉.pdf

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本申请提供了一种加料装置及单晶炉，其中，该加料装置包括加料腔、第一部件和连接结构；其中，加料腔上设置有加料口；第一部件设置于加料腔，用于打开或关闭加料口；连接结构的一端与第一部件相连，连接结构的另一端与主炉室相连，连接结构内设置有送料通道，连接结构上还设置有真空阀。本申请可以实现加料装置独立抽真空，并通过连接结构与主炉室连接后，可以对连接结构独立抽真空，从而可以减小在对主炉室建立真空环境时需要抽真空的容积，缩短了抽真空的时长，提升了生产效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112522778 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202011380604.5 (51)Int.Cl.