一种热光器件及其制造方法.pdfVIP

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2023-06-01 发布于四川
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一种热光器件及其制造方法.pdf

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本发明公开了一种热光器件及其制造方法，涉及热光器件制造技术领域，用于降低加热电极为光波导进行加热时的加热功耗，提高热光器件的工作性能。该热光器件的制造方法包括：提供一基底，基底包括衬底、以及形成在衬底上的光波导和加热电极；加热电极位于光波导的上方；在衬底内开设贯穿衬底的开口槽，开口槽位于光波导的下方；在开口槽内填充低热损耗材料；低热损耗材料的导热系数小于衬底的导热系数；在衬底上形成悬臂梁结构；悬臂梁结构位于光波导的一侧，用于将光信号耦合至或耦合出光波导。本发明还提供了一种热光器件，该热光器件由所

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112526772 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 202011460359.9 (22)申请日 2020.12.11 (71)申请人中国科学院微电子研究所