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本发明公开了一种通过止逆阀控制的压电陶瓷微泵及其使用方法,包括壳体,壳体的一端设有凹槽,凹槽内配合安装有压电陶瓷振子致动器,壳体的腔内设有进口阀门与出口阀门,壳体的两侧分别设有进口管路与出口管路,进口管路与进口阀门连通;泵阀的进出口共用一个管道,最大程度上减小了泵“死区”(即泵腔内压电陶瓷振子致动器活动范围之外的区域)的体积,提升了泵的自吸性能和输出压力,其次,进口阀门和出口阀门采用复合结构的柔性背压止逆阀,有效防止大气压力、输送液体的重力等微小外界压力推开阀门而导致的管道泄漏,确保了上述阀门只
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112539163 A (43)申请公布日 2021.03.23 (21)申请号 202011380016.1 (22)申请日 2020.11.30 (71)申请人 王洋中 地址 214
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