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本发明公开了一种片上热调系统及其控制方法,包括:电芯片、光芯片和开关管;光芯片包括位于待加热光器件一侧的热调器件,热调器件包括掺杂半导体制作的PN结或PIN结;开关管一端与所述电芯片相连,另一端与光芯片的热调器件相连;电芯片用于产生PWM波,并发送给所述开关管;开关管用于选通所述光芯片中的热调器件,并将PWM波发送到所述光芯片中被选通的热调器件上;光芯片中被选通的热调器件在PWM波作用下工作在正偏状态,以滤除PWM波中的高频成分,从而产生稳定的热功率,给所述待加热的光器件进行加热。由于热调器件的
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112527031 B (45)授权公告日 2021.12.31 (21)申请号 202011320933.0 CN 210351100 U,2020.04.17 (22
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