一种柔性太赫兹调制器及其制备和调节方法.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种柔性太赫兹调制器及其制备和调节方法.pdf

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本发明提供一种柔性太赫兹调制器及其制备和调节方法，包括铟镓锌氧化物膜层；第一金属氧化物膜层和第二金属氧化物膜层，铟镓锌氧化物膜层位于第一金属氧化物膜层和第二金属氧化物膜层之间以形成层叠结构；第一石墨烯层和第二石墨烯层，第一石墨烯层层叠在第一金属氧化物膜层的表面，第二石墨烯层层叠在第二金属氧化物膜层的表面。与现有技术相比，本发明通过电压调节铟镓锌氧化物膜层在太赫兹波段的电导率，利用第一石墨烯层和第二石墨烯层作为电极制备宽带柔性太赫兹调制器，实现对太赫兹波透过率的调制。使器件整体的插入损耗低，便于集

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112510377 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 202011434901.3 CN 106405718 A,2017.02.15 (22)申请日 20