一种用于精密液体传输的压电螺杆泵.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种用于精密液体传输的压电螺杆泵.pdf

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本发明公开了一种用于精密液体传输的压电螺杆泵，属于压电螺杆泵和流固耦合技术领域。包括螺杆泵和驱动机构。螺杆泵包括通过矩形螺纹间隙配合的螺杆和螺纹管，在螺纹管上设有进口和出口。驱动机构包括在同一平面内的一对压电振子，即水平压电振子和垂直压电振子；水平压电振子和垂直压电振子结构相同，压电振子包括一对位移放大件和压电叠堆，位移放大件为菱形空心框架件，一对位移放大件依次连接，压电叠堆固定设于一个位移放大件内。驱动机构通过柔性铰链连接着环形铰链的外圆周；环形铰链固定套设在螺纹管上。给驱动机构通入正向的正弦

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112502965 B (45)授权公告日 2022.07.26 (21)申请号 202011468280.0 (51)Int.Cl.