一种perc电池碱抛前后保护工艺.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种perc电池碱抛前后保护工艺.pdf

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本发明公开了一种perc电池碱抛前后保护工艺，涉及晶硅太阳能电池生产制造技术领域，包括如下步骤：制绒、扩散、SE、PECVD沉积氧化硅、单面去PSG和碱抛光、制作电池片背面钝化膜层、制作电池片正面钝化膜层、使用激光开槽设备，在背表面形成局部接触结构、制作电极、退火和测试分选电池片的电性能；本发明在激光SE后，通过pecvd设备用硅烷和笑气在正面沉积50nm以上氧化硅，代替管式氧化炉用氧气生成氧化硅，实现了对正面绒面的完全保护，最终提高了电池片的转换效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112510121 B (45)授权公告日 2022.04.29 (21)申请号 202011572697.1 (51)Int.Cl.