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本发明公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其结构包括研磨机、位移台、滑道、设备箱、控制器、载台、卸料台，研磨机与位移台内部法兰连接，滑道与设备箱右壁焊接连接，设备箱与控制器末端铰接连接，卸料台固定在研磨机右侧与其间隙配合，载台上表面与设备箱底部螺栓固定，载台右侧与卸料台左侧焊接连接，研磨机包括上磨盖、晶圆卡台、辅助下盘、传动机，位移台后壁与滑道滑动配合，本发明通过传动机在对上磨盖与辅助下盘的带动下，通过旋转，将内环表面的嵌固的散热槽开启，由散热槽内的挡板实现展开，使其内部加工时的热量能够通过导流
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112497073 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202011337114.7
(22)申请日 2020.11.25
(71)申请人 广州赢帝工业设计有限公司
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