一种具有双层屏蔽罩的阴极弧头.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种具有双层屏蔽罩的阴极弧头.pdf

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本发明公开了一种具有双层屏蔽罩的阴极弧头，涉及离子束产生装置领域。该方案包括固定法兰盘、阴极靶材、触发电极、屏蔽系统、辅助阳极板，屏蔽系统包括第一屏蔽罩以及第二屏蔽罩，第一屏蔽罩与第二屏蔽罩均与阴极靶材同轴设置，且第一屏蔽罩与所述第二屏蔽罩均套于阴极靶材外并与阴极靶材之间保持间距，第一屏蔽罩由导磁材料制成，第二屏蔽罩由非导磁材料制成。设置双层屏蔽罩，对阴极靶材上的弧斑点形成更好的约束，使阴极靶材表面均匀烧蚀，提高阴极靶材的利用率，降低阴极靶材更换的频率，减少对生产的影响。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112501572 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202011363720.6 (22)申请日 2020.11.27 (71)申请人廖斌地址 5106