一种硅基红外测温滤光片及制备方法.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种硅基红外测温滤光片及制备方法.pdf

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本发明涉及一种硅基红外测温滤光片，包括单晶硅基底、长波通膜系结构及短波通膜系结构，其中单晶硅基底为横断面呈矩形的板状结构，长波通膜系结构包覆在单晶硅基底上端面，短波通膜系结构包覆在单晶硅基底下端面，且长波通膜系结构及短波通膜系结构的厚度均不大于1毫米，且长波通膜系结构及短波通膜系结构总厚度为单晶硅基底。其制备方法包括夹持定位，单晶硅基底预热，离子轰击，气象沉积及出炉保存等五个步骤。本发明较传统的滤光片，一方面可以实现了传统滤光片实现不了的宽波段、高精度的温度测量；另一方面生产加工工艺简单，易实现

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112505812 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202011510948.3 C23C 14/02 (2006.01) (22)申请日 2