一种高速气体携带制冷剂冷却微通道半导体激光器的方法及装置.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种高速气体携带制冷剂冷却微通道半导体激光器的方法及装置.pdf

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本发明提供一种高速气体携带制冷剂冷却微通道半导体激光器的方法及装置。该方法使液体制冷剂输入所述微通道；特别地，使高速气流作用于液体制冷剂，从而对微通道封装结构的半导体激光器进行气液高速混合散热。优选在液体制冷剂输入所述微通道之前，将高速气流与液体制冷剂混合，然后液体制冷剂随高速气流一起输入微通道。本发明通过高速的气体携带去离子水对微通道封装结构的半导体激光器件进行有效散热，结合了气体的高流速和去离子水的高导热系数两个优点，可以明显降低激光芯片的结温，实现半导体激光器更高的峰值输出功率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112510481 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202011379334.6 (22)申请日 2020.11.30 (71)申请人中国科学院西安光学精密机械研究