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本发明公开了一种光学面形补偿干涉测量中的投影畸变校正方法、系统及介质，本发明的投影畸变校正方法包括：建立测量系统光学模型，在与点光源共焦位置插入一个虚拟参考球面；进行光线追迹，分别获得入瞳坐标网格光线对应的被测镜面上交点的横坐标{(xm,ym)}和虚拟参考球面上交点的横坐标{(xr,yr)}；标定干涉仪像面上的像素坐标(u,v)对应虚拟参考球面上横坐标(xrt,yrt)的线性比例因子，将干涉仪测得面形误差分布的像素坐标转换为虚拟参考球面上的横坐标(xrt,yrt)；进行畸变校正得到结果。本发明不
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112504117 B (45)授权公告日 2022.03.15 (21)申请号 202011385606.3 审查员 赵柯 (22)申请日 2020.12.01
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