一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置.pdf

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本发明涉及一种基于气缸驱动的晶圆翻转装置，包括底座、设置在底座上的旋转气缸、与旋转气缸传动连接的滑轨安装板、一对并列设置在滑轨安装板侧面的夹持单元以及设置在滑轨安装板侧面并与夹持单元相适配的平移限位机构，夹持单元包括设置在滑轨安装板侧面的气缸驱动机构、与气缸驱动机构传动连接的夹块安装座以及一对并列设置在夹块安装座上的夹块。与现有技术相比，本发明通过夹块夹持晶圆的外缘来实现对晶圆的固定并定位晶圆的圆心，不接触晶圆中心部位，不存在污染晶圆等风险，并且翻转过程中，晶圆始终处在夹块槽口内，不会出现晶圆掉

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112499194 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202011432495.7 (22)申请日 2020.12.10 (71)申请人上海微松工业自动化有限公司