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提供树脂包覆装置和树脂的包覆方法，使用固态树脂来包覆树脂。树脂包覆装置包含：收纳部；盖部；盖部驱动部，其使盖部以能够相对于收纳部开闭的方式驱动；树脂提供部，其向被加工物提供固态树脂；真空泵，其使由收纳部和盖部密闭的加工空间为真空；以及大气开放阀，其向加工空间提供大气，对包覆于被加工物的树脂进行冷却。收纳部包含保持工作台和使保持工作台沿上下方向驱动的保持工作台驱动部。盖部包含上工作台，该上工作台通过与保持工作台对置并相对于保持工作台相对地接近而使被加工物上的树脂扩展并进行包覆，盖部覆盖收纳部的开口
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112440418 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202010908413.5 (22)申请日 2020.09.02 (30)优先权数据
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