温度补偿型声表面波器件及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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温度补偿型声表面波器件及其制造方法.pdf

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本申请提供温度补偿型声表面波器件及其制造方法。该制造方法包括以下步骤：提供压电材料衬底；在压电材料衬底上涂覆第一光刻胶，对第一光刻胶进行曝光、显影，定义出IDT金属层半埋沟壑图形；刻蚀压电材料衬底以形成与IDT金属层半埋沟壑图形对应的IDT金属填埋沟，去除第一光刻胶；在刻蚀后的压电材料衬底上沉积金属以形成IDT金属层、且使得IDT金属层填满并溢出IDT金属填埋沟；在IDT金属层上涂覆第二光刻胶，对第二光刻胶进行曝光、显影，定义出IDT图形；刻蚀IDT金属层以形成与IDT图形对应的IDT金属指条结

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112436816 A (43)申请公布日 2021.03.02 (21)申请号 202011411032.2 (22)申请日 2020.12.03 (71)申请人广东广纳芯科技有限公司