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本发明公开了一种硅片干燥装置及其方法，该种硅片干燥装置及其方法包括制绒花篮传送装置、第一缓冲腔、第一低压腔、干燥腔、第二低压腔和第二缓冲腔，制绒花篮传送装置用于输送等距排放的装载硅片的制绒花篮，所述制绒花篮传送装置沿传送方向依次设置有第一缓冲腔、第一低压腔、干燥腔、第二低压腔和第二缓冲腔，各腔室之间有双侧门隔开成封闭空间，缓冲腔和低压腔分别与真空系统相连，干燥腔内置有气体过滤还原系统、加热温控系统、气体吹扫系统和水汽冷凝循环系统。通过上述方式，本发明能够将制绒后的硅片及制绒花篮干燥，且避免了干燥
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112460971 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011368754.4 F26B 25/18 (2006.01) (22)申请日 2
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