一种膜状扩散源成型机.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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一种膜状扩散源成型机.pdf

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本发明公开了一种膜状扩散源成型机，主要涉及半导体膜生产设备技术领域，包括底座、机架，在所述底座上设有成膜传送辊，在所述成膜传送辊一端设有喷涂装置、另一端设有分切装置，在所述喷涂装置一侧设有烘干装置，提高了横梁运动方向的约束，使得运动和行程不易受外部影响，使得喷头在喷涂是更加均匀，既提高了烘干效率，又使水汽能够及时的排出，保证了烘干的质量提高，增加了烘干装置的空间利用度，使得膜烘干过程更加高效、节能和环保，滑动套在导向轴的作用下，使得滑动套底端固接的切刀座上的切刀片在平辊带上进行切割，形成倾斜直线

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112466746 B (45)授权公告日 2022.04.15 (21)申请号 202010353492.8 US 5024867 A,1991.06.18 (2