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本申请公开了一种垂直腔面发射激光器，包括：层叠设置的第一反射器层、有源层、第二反射器层；所述第二反射器层上设置有第一光栅槽，所述第一光栅槽自所述第二反射器层背离所述有源层的表面，延伸至所述第二反射器层内部。上述方案，通过在该垂直腔面发射激光器的某一或某几层刻蚀光栅槽，使刻蚀光栅槽的位置形成高对比度光栅，该高对此度光栅可以减小垂直腔面发射激光器的发散角，提高能量集中及使垂直腔面发射激光器发射的激光为偏振光。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112436379 A (43)申请公布日 2021.03.02 (21)申请号 202011262836.0 (22)申请日 2020.11.12 (71)申请人 深圳博升光电科技有限公司
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