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本发明提供了一种基于声表面波雾化器应用的系统及匀胶方法，通过声表面波雾化器对液滴进行雾化形成雾剂后，通过加热装置将所述雾剂在所述雾化受体表面加热成膜；从而可形成均匀的薄膜层。进一步地，加热装置包括热板、嵌入热板的若干个顶针及真空吸附孔，且所述热板为可旋转体；所述顶针用于支撑所述雾化受体；所述真空吸附孔用于吸附所述雾化受体，可用于旋涂成膜工艺，雾滴通过热板迅速烘烤固化有助于减缓旋涂方式导致的液膜不平现象，同时，由于烘烤过程中溶剂的蒸发可降低溶剂表面张力的影响，且适宜的烘烤温度可以使得雾滴具有一定的
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112427215 A (43)申请公布日 2021.03.02 (21)申请号 202011343087.4 (22)申请日 2020.11.26 (71)申请人 厦门乾照半导体科技有限公司
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