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本发明提供了一种闪存器件本征击穿时间的测量方法及系统，包括：加压方案确定步骤：设置或获取闪存器件本征击穿的加压方案，所述加压方案包括单次加压循环的时间、电压波形以及峰谷数值；测试方案确定步骤：设置或获取闪存器件漏电情况的测试方案，所述测试方案包括测量电压的大小范围、测量节点个数以及测量节点间隔；循环测试步骤：重复执行加压方案‑测试方案的测试循环，直至本征击穿时停止；计算步骤：根据本征击穿所需的测试循环次数计算本征击穿的时间。本发明流程简单，操作容易，经济成本低，可以有效测量闪存器件的本征击穿时间
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112447258 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 20191
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