红外带通滤波结构及应用该结构的红外带通滤波器.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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红外带通滤波结构及应用该结构的红外带通滤波器.pdf

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本发明提供了一种红外带通滤波结构由复数氢化硅铝层及复数较低折射率层交互堆栈形成，该复数较低折射率层为一氧化物，该红外带通滤波结构具有800nm至1600nm的波长范围内至少部分重迭的一通带，该通带具有一中心波长，且该中心波长在入射角自0°改变至30°时，在量值上偏移幅度小于11nm；一种红外带通滤波器则是于一基板的第一侧面形成上述的红外带通滤波结构，于该基板的相反该第一侧面的一第二侧面上形成有一抗反射层；由此可提升溅镀效率以大幅降低制作成本，以及可减小膜层的翘曲量以解决后制切割易崩角的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112462461 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 20191