一种Mirco OLED开Pad的方法、Mirco OLED及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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一种Mirco OLED开Pad的方法、Mirco OLED及其制造方法.pdf

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本发明涉及MircoOLED的生产制造技术领域，公开一种MircoOLED开Pad的方法、MircoOLED及其制造方法，所述MircoOLED开Pad的方法包括：将基板从卡匣传送至加工机台上；在所述加工机台上抓取所述基板上的Mark中心坐标并对所述基板上的晶圆进行定位，利用激光去除所述基板上的PAD区域上的膜层；将去除膜层的基板传送至清洗单元以去除所述基板上的异物；以及将去除异物的基板传送至所述卡匣中。本发明克服了现有技术中干刻的工艺流程复杂，且产品的良率低的问题，提高产品的良率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112467059 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011257703.4 (22)申请日 2020.11.12 (71)申请人安徽熙泰智能科技有限公司