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本发明提供一种冗余通孔添加方法，选择版图中仅包含单通孔的上下金属层重叠区域添加冗余通孔形成双冗余通孔；进行设计规则检查并删除违反设计规则的冗余通孔；对未添加冗余通孔的上下金属层重叠区域添加冗余通孔形成矩形冗余通孔；设计规则检查并删除违反设计规则的冗余通孔；进行长度可变的矩形冗余通孔添加并进行设计规则检查，删除违反设计规则的长度可变的矩形冗余通孔，将满足设计规则的长度可变的矩形冗余通孔作为候选冗余通孔；若原始单通孔只能在一个方向添加长度可变的矩形冗余通孔，则输出该方向的长度可变的矩形冗余通孔；若横
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112466815 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011327870.1 (22)申请日 2020.11.24 (71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司
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