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本申请涉及一种双头双吸嘴非线性高速搬运机构，属于芯片加工技术领域，包括Y轴驱动模组，Y轴驱动模组上设置有两个对芯片进行搬运的搬运组件，两个搬运组件上均设置有张紧防护组件，Y轴驱动模组包括横向支撑部和驱动部，驱动部设置在横向支撑部上，驱动部用于驱动搬运组件移动，搬运组件包括动力部和搬运部，搬运部设置在动力部上，搬运部用于对芯片进行搬运，动力部设置在驱动部上，通过设置的搬运组件，两个搬运组件形成双头双吸嘴结构，在搬运过程中，两个搬运组件中的真空吸嘴可以单独对芯片进行搬运，使得两个搬运组件之间的工作互
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114132753 A (43)申请公布日 2022.03.04 (21)申请号 202111562189.X (22)申请日 2021.12.21 (71)申请人 深圳市芯岛智能装备有限公司
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