感光性树脂组合物、镀敷方法及金属图案的制造方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.21万字
约 16页
2023-05-30 发布于四川
举报
版权申诉

感光性树脂组合物、镀敷方法及金属图案的制造方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明以提供感光性树脂组合物及使用该感光性树脂组合物的镀敷方法为课题，对于该感光性树脂组合物而言，即使在窄间距的抗蚀剂图案中也容易进行抗蚀剂剥离，并且在图案形成或镀敷工序中，微细的线或点可稳定地保持在基材上，具有高分辨性；通过以下感光性树脂组合物及使用该感光性树脂组合物的镀敷方法及金属图案的制造方法而解决上述课题；该感光性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂及(C)丙烯酸酯单体，相对于(C)丙烯酸酯单体，(D)甲基丙烯酸酯单体的含有率为0质量％～5质量％，作为(C)丙烯酸酯单体含

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112470075 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980048740.3 梶谷邦人　 (22)申请日 2019.07.29