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本发明涉及纳米银浆薄膜生产加工装置领域,尤其为一种纳米银浆薄膜射频装置,包括射频箱,所述射频箱的内部从上至下依次开设有安装槽、真空室,所述安装槽的内部嵌入安装有射频发生器,所述射频发生器的一侧安装有高频电源线,所述射频发生器和安装槽之间嵌入设置有海绵层,所述射频箱的基面靠近真空室处安装有磁吸箱门,所述磁吸箱门的基面顶端中心处固定安装有把手,所述射频箱的一侧靠近真空室处贯通安装有抽真空管,所述真空室的内部从上至下依次设置有固定夹具、固定座,本发明整体装置结构简单,为纳米银浆薄膜的射频加工提供了专用
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112466564 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011383028.X (22)申请日 2020.12.01 (71)申请人 苏州柏特瑞新材料有限公司
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