一种氧化镍基陶瓷靶材材料的热等静压制备方法.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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一种氧化镍基陶瓷靶材材料的热等静压制备方法.pdf

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本发明涉及一种氧化镍基陶瓷靶材材料的热等静压制备方法，包括以下步骤：A原料准备：氧化镍粉体和掺杂源粉体的混合粉体，所述混合粉体中掺杂源元素的总质量分数不高于10％，所述掺杂源选自Li、Na、Mg、Al、Si、K、Zn、Zr、Mn、Cu、Cr、V、W、Ti中的一种或几种；所述氧化镍粉体和掺杂源粉体均为纯度高于99.99％，平均粒径500nm‑2μm，D50粒径在50nm‑800nm；B喷雾干燥；C装入包套模具内；D真空除气；E热等静压处理：压强50‑200MPa，烧结温度500‑1200℃，保温时

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112441819 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202011266664.4 (22)申请日 2020.11.13 (71)申请人北京航大微纳科技有限公司