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本发明提供了一种缓存平台、晶圆周转装置及其周转方法。其中，缓存平台包括用于装载晶圆盒的装载台和用于临时放置晶圆架的中转台。装载台上具有用于装载晶圆盒的至少一开盖位和多个装载位。开盖位的上方空间足以使得晶圆盒的盖子能够翻转以开合。中转台与开盖位错开布置，因而晶圆盒和晶圆架的放置、搬运均不会产生干涉。晶圆周转装置中的控制器通过控制机械手，自动化地实现了对于晶圆盒和晶圆架的搬运和周转。机械手能够在开盖位上代替人工实现开盖，中转台能够为机械手在缓存平台和工艺设备之间提供缓存空间，减少机械手的往返次数，提
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112447564 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 20191
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