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本发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生系统，包括离子膜电解循环系统、氯气吸收系统和再生液调配监控系统；离子膜电解循环系统构造为溶液循环回路，包括电解系统；氯气吸收系统包括氯气处理缸和碱液池、氯气处理塔二级吸收系统；氯气处理缸和碱液池分别通过射流器产生的负压将氯气吸走并通入低ORP蚀刻药液和碱性溶液中；ORP监控仪，通过控制电解蚀刻液的ORP值以控制氯气的产生。本发明中通过控制电解蚀刻液的ORP值，有效的控制氯气的产生，使一价铜离子变为二价铜离子，恢复蚀刻能力，完全返回生产，降低甚至是取消生产所用的氧
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112458463 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011237059.4 C25C 7/04 (2006.01) (22)申请日 20
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