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2023-05-30 发布于四川
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等离子体处理装置.pdf

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本发明提供一种等离子体处理装置，其能够检测较窄区域中的光的变化。实施方式所涉及的等离子体处理装置具备：腔室，可维持比大气压更被减压的环境；气体供给部，能够向所述腔室的内部供给气体；放置部，设置在所述腔室的内部，可放置处理物；减压部，能够对所述腔室的内部进行减压；窗，设置于所述腔室，与所述放置部相对；等离子体产生部，设置在所述腔室的外部且所述窗的与所述放置部侧呈相反侧的面上，能够在所述腔室的内部产生等离子体；光路改变部，设置在所述窗的内部的局部，具有相对于所述腔室的中心轴发生倾斜的面；及检测部，设

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112466737 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202010941328.9 (22)申请日 2020.09.09 (30)优先权数据 2019-1638